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書誌番号	0000032161
言語	jpn : 日本語
NACSIS ID	BN06180206
和洋区分	和資料
書名	ULSIプロセスの基礎技術
書名カナ	ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
親書誌名 ; 番号等	Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 ; . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編||ザイリョウ コウガクヘン ; M08
著者名	古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
出版事項	東京 : 丸善, 1991.3
形態	xi, 262p ; 22cm
分類	NDC8版 : 549.7 NDC7版 : 549.8
巻冊次表示	巻書名 ISBN 表示価格 書籍リンク 4621035835 4944円
著者名典拠	堂山, 昌男(1927-) 古川, 静二郎(1934-) 石原, 健
件名	[個人名以外の件名] : BSH:集積回路||シュウセキカイロ//L [普通件名] : NDLSH:集積回路||シュウセキカイロ//K
リレーション	[書誌階層（上位：親）] : 1件( Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 )
注記	各章末: 文献

該当件数：1件

	巻書名	所蔵ID	配架場所	請求記号	備考	返却予定日	ステータス	予約数
		10002644	4F一般	549.7			貸出可能	0

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