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書誌番号	0000032206
言語	jpn : 日本語
NACSIS ID	BN11770322
和洋区分	和資料
書名	半導体製造装置用語辞典
書名カナ	ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
その他タイトル	異なりｱｸｾｽタイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment
版	第3版
著者名	日本半導体製造装置協会編
出版事項	東京 : 日刊工業新聞社, 1994.11
形態	xv, 486p ; 22cm
分類	NDC8版 : 549.8
巻冊次表示	巻書名 ISBN 表示価格 書籍リンク 4526036137 4700円
著者名典拠	日本半導体製造装置協会
件名	[個人名以外の件名] : BSH:半導体 -- 辞典||ハンドウタイ -- ジテン//L [個人名以外の件名] : BSH:半導体 -- 便覧||ハンドウタイ -- ベンラン//L [普通件名] : NDLSH:半導体||ハンドウタイ//K

該当件数：1件

	巻書名	所蔵ID	配架場所	請求記号	備考	返却予定日	ステータス	予約数
		10002720	1F参考	549.8  R			持出禁止	0

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