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書誌番号	0000065835
言語	jpn : 日本語
NACSIS ID	BA81206403
和洋区分	和資料
書名	製造プロセス編
書名カナ	セイゾウ プロセスヘン
その他タイトル	奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
親書誌名 ; 番号等	電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク
著者名	角南英夫著
出版事項	東京 : コロナ社, 2006.8
形態	xii, 189p ; 26cm
分類	NDC9版 : 549.7
巻冊次表示	巻書名 ISBN 表示価格 書籍リンク 4339018872 3300円+税
著者名典拠	電子情報通信学会 角南, 英夫
件名	[普通件名] : NDLSH:集積回路||シュウセキカイロ//K
リレーション	[書誌階層（上位：親）] : 1件( 電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 )
注記	引用・参考文献: p[177]-186

該当件数：1件

	巻書名	所蔵ID	配架場所	請求記号	備考	返却予定日	ステータス	予約数
		10038876	一般	549.7  S			貸出可能	0

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