図書書誌情報

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書誌番号

0000082486　

言語

jpn : 日本語　

NACSIS ID

BN01703089　

和洋区分

和資料　

書名

デバイスとプロセス　

書名カナ

デバイス ト プロセス　

親書誌名 ; 番号等

半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 11-24

著者名

西澤潤一編　

出版事項

東京 : 工業調査会, 1987.8-

形態

冊 ; 27cm

分類

NDC8版 : 549
国立国会図書館分類表 : ND371
国立国会図書館分類表 : ND386

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著者名典拠

半導体研究振興会
西澤, 潤一(1926-)　

件名

[普通件名] : BSH:半導体||ハンドウタイ//K
[普通件名] : NDLSH:半導体||ハンドウタイ//K
[普通件名] : NDLSH:集積回路||シュウセキカイロ//K　

リレーション

[書誌階層（上位：親）] : 1件( 半導体研究 / 半導体研究振興会編 )　

注記

各章末: 参考文献

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所蔵情報

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該当件数：14件

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