書誌番号	0000008792
言語	jpn : 日本語
NACSIS ID	BN00597860
和洋区分	和資料
書名	集積回路プロセス技術シリーズ
書名カナ	シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ
出版事項	東京 : 産業図書
形態	冊
巻冊次表示	巻書名 ISBN 表示価格 書籍リンク
著者名典拠	菅野, 卓雄(1931-)
リレーション	[書誌階層（下位：子）] : 1件( プロセス・デバイス・シミュレーション技術 / 壇良編著 )

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