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1		MEMSデバイス総論 / 植田敏嗣監修. -- サイエンス&テクノロジー, 2009.
2		MEMS/NEMS工学全集 : fundamentals and applications of MEMS/NEMS engineering / 桑野博喜監修. -- テクノシステム, 2009.
3		マイクロマシン : 異種要素を集積化した小形で高度な働きをするシステム / 江刺正喜監修. -- 産業技術サービスセンター, 2002.
4		マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術 / マイクロマシン技術総覧編集委員会編. -- 産業技術サービスセンター, 2003.
5		光マイクロマシン / 澤田廉士, 羽根一博, 日暮栄治共著. -- オーム社, 2002.
6		見えない機械 : 細胞の構造とマイクロマシン / 藤正巖著. -- オーム社, 1994. -- (テクノライフ選書).
7		マイクロマシン革命 : 日本発超微小機械の衝撃 / μMフロンティア研究会編. -- 日刊工業新聞社, 1999.
8		バイオ計測のための材料と微細加工 / バイオ計測のための材料と微細加工編集委員会編. -- コロナ社, 2022.
9		センサ・マイクロマシン工学 / 藤田博之編著. -- オーム社, 2005. -- (EE text).
10		マイクロマシンの世界 : 超微細機械開発へのアプローチ / 藤田博之著. -- 工業調査会, 1992. -- (K books).
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