書誌番号	0000040175
言語	jpn : 日本語
NACSIS ID	BN00319697
和洋区分	和資料
書名	プラズマプロセシングの基礎
書名カナ	プラズマ プロセシング ノ キソ
その他タイトル	原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
著者名	Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
出版事項	東京 : 電気書院, 1985.11
形態	13, 391p ; 22cm
分類	NDC8版 : 427.6 国立国会図書館分類表 : MC241
巻冊次表示	巻書名 ISBN 表示価格 書籍リンク 4485661180 6200円
著者名典拠	Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄
件名	[個人名以外の件名] : NDLSH:プラズマ||プラズマ//L
注記	Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386

該当件数：1件

	巻書名	所蔵ID	配架場所	請求記号	備考	返却予定日	ステータス	予約数
		10014018	一般	427.6			貸出可能	0

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