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書誌番号	0000082481
言語	jpn : 日本語
NACSIS ID	BN00178154
和洋区分	和資料
書名	半導体プロセス
書名カナ	ハンドウタイ プロセス
親書誌名 ; 番号等	半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 16巻, 19巻, 22巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 3, 6, 9
著者名	西澤潤一編
出版事項	東京 : 工業調査会, 1979.8-1985.8
形態	3冊 ; 27cm
分類	NDC6版 : 549 国立国会図書館分類表 : ND371
巻冊次表示	巻書名 ISBN 表示価格 書籍リンク [その1] 9800円 その2 4769310250 15000円 その3 4769310463 16000円
著者名典拠	西澤, 潤一(1926-)
件名	[個人名以外の件名] : NDLSH:半導体||ハンドウタイ//L
リレーション	[書誌階層（上位：親）] : 1件( 半導体研究 / 半導体研究振興会編 )
注記	各章末: 参考文献

該当件数：2件

	巻書名	所蔵ID	配架場所	請求記号	備考	返却予定日	ステータス	予約数
	[その1]	10052224	4F一般	549.8  N			貸出可能	0
	その3	10052278	4F一般	549.8  N			貸出可能	0

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